硅硅是一种强脱氧元素，也是镇静钢必不可少的脱氧元素。复合金属终脱氧剂复合脱氧剂主要用于炼钢深脱氧及对夹杂物去除和变性。主要包括：Si-Al-Mn系研究发现，Si-Al-Mn系复合终脱氧剂比纯铝脱氧剂脱氧效果更好，脱氧产物更易去除。Si-Ca-C系Si-Ca-C系复合终脱氧剂比纯铝脱氧剂脱氧效果更好，成本更低。Al-Ca-C系Al-Ca-C系复合终脱氧剂能有效降低钢中全氧含量，提高钢水质量，钢水浇注良好，铸坯内部组织致密，钢材力学性能优良。
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VCR(VacuumConverterRefiner)法是基于AOD法在大气压下深脱碳受到限制而发展起来的，1991年日本大同特殊钢公司利用AODVCR工艺生产了13%Cr和2%Cr铁素体不锈钢，钢中氮含量可分别达到(2～4)×1-6和(7～9)×1-6的极低水平。该工艺的实质就是给AOD精炼炉加上真空设备。它充分利用AOD的强搅拌和VCR的真空技术，在低碳范围内改善脱碳效率。在精炼过程中，当[C]≥.1%时，通常与AOD法相同，利用稀释气体(Ar或N2)进行脱碳；当[C]≤.1%时，利用真空进行脱碳，真空度在(1～5)×133Pa。
一般控制在.2-.3MPa。VD真空去气主要目的——真空去氢、真空下碳脱氧继续脱氧、利用氩气搅拌去夹杂，一般脱氮不明显；进入VD前，除去炉渣，降低渣碱度，控制氩强度，真 加Al终脱氧，缓氩。前期氩不大于.2Mpa，后期在.1Mpa以下，可使钢液和炉渣充分反应，脱氧产物充分上浮；真空时间过短——脱氧产物不能充分上浮；过长——耐火材料表层被钢液长期冲刷而剥落进入钢液，不利于钢中钛含量的控制；真空脱气后软氩搅拌——控制非金属夹杂含量。
